چرا آلومینای کلسینه شده پلاکتی می تواند ما را برای پرداخت نیمه هادی ها استفاده کند؟
آلومینای کلسینه شده پلاکتی شکل تخصصی آلومینا (اکسید آلومینیوم) است که در کاربردهای مختلف با تکنولوژی بالا از جمله صنعت نیمه هادی استفاده می شود. وقتی صحبت از ویفرهای گالیم آرسنید (GaAs) می شود ، آلومینا کلسینه شده پلاکتی می تواند در چندین فرآیند حیاتی استفاده شود:
- پرداخت و پلاناریزه کردن :
- ویفرهای GaAs برای ساخت دستگاه های نیمه هادی به سطوح بسیار صاف و صاف نیاز دارند. آلومینای کلسینه شده پلاکتی اغلب به عنوان یک ماده ساینده در صیقل دادن دوغاب برای دستیابی به سطح مورد نظر استفاده می شود. مورفولوژی پلاکت ذرات آلومینا به دستیابی به سرعت حذف یکنواخت و کنترل شده مواد کمک می کند، که برای کاربردهای با دقت بالا بسیار مهم است.
- پلاناریزاسیون مکانیکی شیمیایی (CMP) :
- در فرآیند CMP، که برای صاف کردن و صیقل دادن سطوح ویفر استفاده می شود، آلومینا کلسینه شده پلاکتی می تواند جزء کلیدی دوغاب باشد. شکل منحصر به فرد و سختی ذرات آلومینا به از بین بردن موثر عیوب سطح و دستیابی به درجه بالایی از مسطح شدن کمک می کند.
- تمیز کردن سطح :
- پس از مراحل مختلف پردازش، ویفرهای GaAs باید تمیز شوند تا ذرات باقیمانده یا آلودگی حذف شوند. آلومینای کلسینه شده پلاکتی را می توان در محلول های تمیز کننده استفاده کرد تا به آرامی سطح را بدون ایجاد آسیب تمیز کند و اطمینان حاصل شود که ویفرها عاری از نقص هستند.
- مدیریت حرارتی :
- دستگاه های GaAs اغلب در فرکانس های بالا کار می کنند و می توانند گرمای قابل توجهی تولید کنند. آلومینای کلسینه شده پلاکتی به دلیل رسانایی حرارتی عالی و خواص عایق الکتریکی آن، می تواند در راه حل های مدیریت حرارتی مانند پخش کننده های حرارتی یا بسترها برای کمک به دفع گرما و بهبود عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه استفاده شود.
- بسته بندی و کپسولاسیون :
- در مراحل پایانی ساخت دستگاه، ویفرهای GaAs اغلب در تراشه های جداگانه خرد شده و بسته بندی می شوند. آلومینای کلسینه شده پلاکتی را می توان در مواد بسته بندی برای ایجاد پایداری حرارتی، عایق الکتریکی و استحکام مکانیکی استفاده کرد.
به طور کلی، استفاده از آلومینا کلسینه شده پلاکتی در فرآوری ویفرهای آرسناید گالیم به دلیل خواص منحصر به فرد آن، از جمله سختی، هدایت حرارتی، و پایداری شیمیایی آن است که برای دستیابی به عملکرد و قابلیت اطمینان بالا مورد نیاز در دستگاه های نیمه هادی ضروری است.
